一、主要特点 主要用于半导体硅晶片检测、LCD液晶屏检测、实验室材料分析及其他精密工程检测领域,可对样品进行明场及简易偏光观察。 二、仪器介绍 1)系统采用无限远色差正光学、长工作距,成像清晰、像面平坦 2)配备反射式柯拉照明系统,为不同倍率的物镜提供均匀充足的照明 3)正像三通观察筒,30°倾斜,极大的提高了观察的舒适性与操作的适应性 4)配备了4”带离合器机械平台,行程105*105mm,可快速移动 5)最佳人机学设计,高刚性镜臂,“Y”型底座,调焦机构采用前置式操作控制,粗微调同轴 6)光源采用宽电压数字调光技术,具有光强设定与复位功能 7)可选配摄影摄像装置、简易偏光装置、干涉滤光片、测微尺等附件,拓展应用领域 三、技术参数 光学系统: 无限远色差校正光学系统 物镜: 无限远长工作距金相物镜 5X、10X、20X、50X、80X、 目镜: 高眼点平场目镜,PL10X,线视场φ22mm 高眼点平场目镜,PL15X,线视场φ16mm 观察筒: 正像,铰链式三目,30°倾斜,分光比:双目100%,三目100% 照明系统: 反射式柯拉照明,带简易偏光接口,12V/100W卤素灯,,带针孔光阑 调焦机构: 粗微调同轴,带粗调上限位、松紧调节装置和随机限位装置 粗调行程:33mm(焦后1mm),微调精度:0.001mm 最大样品高度:32mm 物镜转换器: 内定位、内倾式、五孔、明场长工作距离物镜转换器 载物台:4英寸矩形,机械移动平台230mmX215mm,移动行程:105mmX105mm 低位同轴调节,可快速移动 机架: 全新的人机工程学设计,高刚性镜臂,“Y”型底座,前置式操作控制
四:选购附件: 摄影摄像装置、简易偏光装置、干涉滤光片、测微尺等