一、主要特点
主要用于半导体硅晶片检测、LCD液晶屏检测、实验室材料分析及其他精密工程检测领域,可对样品进行明场、暗场及简易偏光观察。
二、仪器介绍
1)系统采用无限远平场消色差、长工作距、明暗场两用物镜,成像清晰、像面平坦
2)配备反射式柯拉照明系统,为不同倍率的物镜提供均匀充足的照明
3)正像三通观察筒,25°倾斜,极大的提高了观察的舒适性与操作的适应性
4)配备了6”带离合器机械平台,行程158*158mm,可快速移动
5)最佳人机学设计,高刚性镜臂,“Y”型底座,调焦机构采用前置式操作控制,粗微调同轴
6)光源采用宽电压数字调光技术,具有光强设定与复位功能
7)可选配摄影摄像装置、简易偏光装置、干涉滤光片、测微尺等附件,拓展应用领域
三、技术参数
光学系统: 无限远色差校正光学系统
物镜: 无限远平场消色差,长工作距金相物镜(明暗场两用),5X、10X、20X、50X、80X、
目镜: 高眼点平场目镜,PL10X,线视场φ22mm
高眼点平场目镜,PL15X,线视场φ16mm
观察筒: 正像,铰链式三目,25°倾斜,分光比:双目100%,三目100%
照明系统: 反射式柯拉照明,明暗场切换,带简易偏光接口,12V/100W卤素灯,预置中心采用数字调光,具有光强设定与复位功能,带针孔光阑
调焦机构: 粗微调同轴,带粗调上限位、松紧调节装置和随机限位装置
粗调行程:33mm(焦后1mm),微调精度:0.001mm
最大样品高度:32mm
物镜转换器: 内定位、内倾式、五孔、明暗场两用物镜转换器
载物台: 6英寸矩形,机械移动平台445mmX240mm,移动行程:158mmX158mm
低位同轴调节,带离合器控制手柄,可快速移动
机架: 全新的人机工程学设计,高刚性镜臂,“Y”型底座,前置式操作控制
四:选购附件: 摄影摄像装置、简易偏光装置、干涉滤光片、测微尺等